全球X光分析技术领军企业Rigaku Holdings Corporation（总部：东京都昭岛市；总裁兼首席执行官：Jun Kawakami；以下简称“Rigaku”）今日宣布，与Onto Innovation Inc.（总部：美国马萨诸塞州；首席执行官：Michael P. Plisinski；以下简称“Onto Innovation”）结成战略资本与业务联盟。

 Rigaku Holdings Corporation总裁兼首席执行官Jun Kawakami表示：“随着半导体器件日趋复杂，尤其是三维结构的重要性日益凸显，Rigaku一直在寻求通过将先进的基于模型的算法和AI驱动算法融入光学计量，来增强自身的分析能力。Onto Innovation不仅拥有深厚的光学技术与软件专长，还具备X光分析领域的物理建模能力，这使其成为我们理想的合作伙伴。”

此次联盟合作将直接推动Rigaku在半导体工艺控制领域的核心增长战略。双方旨在通过将Rigaku的X光技术与Onto Innovation互补的光学计量及先进分析软件（包括AI驱动解决方案）相结合，为日益复杂的半导体器件提供下一代混合计量解决方案。

Onto Innovation Inc.首席执行官Michael P. Plisinski表示：“半导体行业正在将更复杂、更新型的材料与新的3D晶体管结构以及实现3D和2.5D芯粒架构的先进封装技术相结合，生产变革的步伐正在加快。这些变化要求我们采用新的创新方式来测量、表征并最终控制这些新的生产技术。我们很高兴能扩大与Rigaku的合作伙伴关系，共同提供客户所需的解决方案，以保持他们的创新节奏。”

两家公司此前已在混合计量解决方案方面展开合作，将Rigaku的CD-SAXS与Onto Innovation的分析软件进行整合。新的协议将进一步加速和拓展这一联合开发项目。

关于Onto Innovation：Onto Innovation是工艺控制领域的领导者，其业务兼具全球规模与扩展后的前沿技术组合，涵盖无图案晶圆质量、从纳米级晶体管到大型芯片互连等芯片特征的3D计量、晶圆与封装宏观缺陷检测、金属互连成分分析、工厂分析以及先进半导体封装光刻技术。Onto Innovation总部位于马萨诸塞州威尔明顿，通过全球销售和服务组织为客户提供支持。 

战略要点

• 契合核心增长战略：强化Rigaku在半导体工艺控制领域的布局，这是未来增长的关键驱动力
• 高度互补的技术：Rigaku的X光解决方案与Onto Innovation互补的光学及软件能力形成强大协同效应，为客户提供更深入的工艺洞察
• 顺应行业格局演变：应对客户日益复杂的需求以及半导体制造不断增长的复杂性。
• 增强竞争力：此次交易使Rigaku在半导体工艺控制领域更具竞争优势

关键举措

• 建立前道工序的混合计量：通过结合X光与光学技术，增强对先进逻辑和存储器件的测量能力
• 拓展先进封装领域：加速进入先进封装中的检测与计量应用领域
• 开拓新市场：力争到2030年，为Rigaku产品创造至少3亿美元的增量市场机会
• 软件与AI融合：支持开发涵盖测量、分析、工艺优化和良率管理的一体化解决方案
• 触达全球客户：利用Onto Innovation的全球客户基础，扩大Rigaku的市场覆盖范围

股权投资

Onto Innovation已与Atom Investment, L.P.签署最终协议，收购其持有的61,123,436股Rigaku股份（占截至2026年3月31日除库存股外已发行股份总数的27.0%），由此建立两家公司之间的长期战略联盟。

治理

Rigaku将保持其作为上市公司的管理独立性。该协议还包含确保稳定、长期联盟的条款，包括对股份转让和额外收购的某些限制。
更多详情，请参阅今日发布的及时披露信息，该信息可在Rigaku网站和东京证券交易所网站上查阅。

关于Rigaku Group

自1951年成立以来，Rigaku集团的专业工程技术人员一直致力于利用尖端技术造福社会，尤其是在X射线和热分析等核心领域。Rigaku的市场遍及136个国家和地区，在全球九个分支机构拥有约2000名员工，是工业界和研究分析机构的解决方案合作伙伴。我们的海外销售比例已达到约70%，同时在日本保持着极高的市场份额。我们与客户一起不断发展壮大。随着应用领域从半导体、电子材料、电池、环境、资源、能源、生命科学扩展到其他高科技领域，Rigaku实现了“通过推动新视角来改善我们的世界”的创新。
 

双品牌徽标

Rigaku的“XTRAIA CD-3200T”X射线计量与Onto Innovation基于模型的分析技术